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ST-21L型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點(diǎn)。

◆ 特點(diǎn)：

采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗；

以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；

采用單個電池供電，帶電池欠壓指示；

體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g；

特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護(hù)薄膜

探頭帶抗靜電模塊

◆ 技術(shù)指標(biāo)：

測量范圍	按方塊電阻量值大小分為二個量程檔： 1.方塊電阻 1.000～19.999Ω/□； 2.方塊電阻 10.00～199.99Ω/□；小分辨率：0.001Ω/□
恒流源	測量過程誤差：≤±0.8%
模數(shù)轉(zhuǎn)換器	量程：0～199.99mv；分辨率：10μv；方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；
測量不確定度	在整個量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格	間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ
電源	使用一節(jié)450mAH的鋰電池

◆ ST-21L方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格：

型號 (Model)	曲率半徑 (Radius)	壓力 (loads)	探針間距 (spacing)	探針排列 (Arrangement)
HP-501	0.5mm	100g	3.8mm	直線
HP-502	0.75mm	100g	3.8mm	直線
HP-503	0.1mm	150g	1mm	直線
HP-504	0.5mm	100g	1.59mm	直線

◆ ST-21L方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格：

型號 (Model)	曲率半徑 (Radius)	壓力 (loads)	探針間距 (spacing)	探針排列 (Arrangement)
SP-601	0.5mm	100g	1.59mm	方形

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